Helium 3 offers a complete range of equipment from rough vacuum till high vacuum and dry pumps.
NeoDry series
7 m3/h a 1200 m3/h
vacío final hasta 5x10-3 mbar
vacío final hasta 5x10-3 mbar
EVD Series
5,4 m3/h hasta 90 m3/h
10E-4 mbar
10E-4 mbar
EVT Series
25 l/s hasta 3.600 l/s
presión final <10-9 mbar
presión final <10-9 mbar
EV Series
8 m3/h hasta 1000 m3/h
0,5 mbar hasta 2 mbar
0,5 mbar hasta 2 mbar
EVC Series
65 m3/h hasta 950 m3/h
10 mbar hasta 65 mbar
10 mbar hasta 65 mbar
TM Series
Cryopumps
5040 m3/h hasta 2700000 m3/h
5040 m3/h hasta 2700000 m3/h
EVD-VE Series
1,7 m3/h hasta 17 m3/h
0,05 mbar hasta 3x10E-3 mbar
0,05 mbar hasta 3x10E-3 mbar
EVDR Series
8 m3/h hasta 137 m3/h
-0,6 bar/ +0,6 bar hasta 2 mbar
-0,6 bar/ +0,6 bar hasta 2 mbar
EVCP Series
56 m3/h hasta 500 m3/h
0,5 bar hasta 2 bar
0,5 bar hasta 2 bar
EVM Series
1,2 m3/h hasta 1000 m3/h
25 mbar hasta 200 mbar
25 mbar hasta 200 mbar
EVPP Series
40 ltr/min hasta 140 ltr/min
-0,88 hasta -0,98 bar
-0,88 hasta -0,98 bar
EVR Series
108 m3/h hasta 9000 m3/h
3x10E-4 mbar
3x10E-4 mbar
EVSC Series
280 m3/h hasta 1.100 m3/h
-440 mbar hasta 570 mbar
-440 mbar hasta 570 mbar